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全自動(dòng)紫外線芯片應(yīng)力測(cè)量?jī)x

更新時(shí)間：2020-12-14

產(chǎn)品品牌：Frontier Semiconductor

產(chǎn)品型號(hào)：FSM360

產(chǎn)品描述：全自動(dòng)紫外線芯片應(yīng)力測(cè)量?jī)x一臺(tái)全自動(dòng)紫外線——可見光RAMan儀器，主要用與測(cè)量芯片應(yīng)力。

FSM360是一臺(tái)全自動(dòng)紫外線——可見光RAMan儀器，主要用與測(cè)量芯片應(yīng)力。

利用微米直徑光斑照射。
芯片會(huì)產(chǎn)生另外一個(gè)光束（Raman信號(hào)），Raman信號(hào)的頻率有別于原來的光源。
從Raman信號(hào)頻率我們可以測(cè)出樣本的應(yīng)力大小。
紫外線Raman主要用于薄膜或樣本表面的應(yīng)力測(cè)量。
可見光Raman主要用于多層薄膜或厚樣本的應(yīng)力測(cè)量。
 
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